主要用于硅晶圓等類似材料的沖洗甩干，用于半導體清洗機內的甩干工位，甩干結束后，片盒頂升，清洗機機械手拿取片盒到下一道工位。
| 項目 | 參數 |
| 加工硅片尺寸 | 8寸圓片mm |
| 單次甩干硅片數量 | 25片 |
| 工作腔數量（個） | 2 |
| 旋轉內筒直徑mm | 720 |
| 碎片率 |
≤0.03% |
| 旋轉速度 r/min | 0-900 |
| 甩干時間 | 8min |
| 頂蓋進氣 | 高效過濾器 |
| 氮氣壓力 | 2-3 bar,氮氣管借口3/8" |
| 氮氣耗量L/min | 30 |
| 壓縮空氣壓力 | 4-5 bar,管接口8mm |
| 排水管 | 1.5寸 PPH 管 |
| 抽風管 | 150mm圓管 |
| 控制系統 | PLC可編程控制 |
| 顯示 | 接清洗機觸摸屏 |
| 電源 | AC380C |
| 整機功率 | 6KW |
| 外型尺寸(深*寬*高)mm | 950x1080x1083 |
實力品牌 多重保障
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由碩士高級工程師等組成的研發團隊，技術過硬，實力雄厚
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2007年“硅片旋轉沖洗甩干機”評為國家高新技術產品
榮獲多項硅片加工設備專利，研發定制技術時刻保持行業前沿
非標定制，可根據客戶需求進行量身定制清洗解決方案
匠心工藝 國際品質
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